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德國海德漢光柵 敞開式直線光柵尺的長光柵直接固定在安 裝面上。安裝面的平面度直接影響直線光 柵尺精度。**式位置測量 LIC敞開式直線光柵尺用于測量高速運動 的行程達27 m內的***位置。期寸和安 裝方式與LIDA 400相同。 基體和安裝方式熱膨脹系數 atherm 精度等級**式位置測量 LIC . 用于*位置測量 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并預